Trusted identification
识别标签贴在要跟踪的部件(200mm pod、300mm FOUP、晶圆盒等)上,且读取器将集成到工艺、测量和材料输送设备中。通过将读取器集成到 SMIF 上料机、分拣器和手动半成品 (WIP) 存储架中,便无需纸制批次记录跟踪卡和运行卡。读取器在到达一个机台时将自动与批次记录 ID 通信。
可以将 SMART Tag 集成到 200mm 和 150mm SMIF 上料口、存储机 I/O 和 WIP 架。在到达一个工具将自动与 lot ID 通信。
SMART-Traveler System 采用了无线通信技术(射频和红外线),可让标记以最小的功耗进行可靠地通信。
Smart Tag Infrared 8200 和 8400 系列